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4,174R&D공식2026년 나노·소재기술개발사업(팹고도화) 상용 파운드리 활용 화합물반도체 MPW 제작 서비스 지원 신규과제 선정결과 공고3186797|과학기술정보통신부원천기술과이상현2026-06-293건원문